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在半导体制造领域，晶圆传输是至关重要的环节，其精度和稳定性直接影响着芯片的质量和生产效率。DD马达（Direct Drive Motor，直接驱动马达）凭借其高精度、高响应速度以及低维护成本等优势，在半导体晶圆传输系统中得到了广泛应用。然而，在实际运行过程中，DD马达可能会产生振动，这些振动不仅会影响晶圆的传输精度，还...
在工业自动化、机器人技术、半导体制造等众多领域，高精度力矩控制是确保设备稳定运行和产品质量的关键。DD马达（Direct Drive Motor，直接驱动马达）以其低速大扭矩、高精度定位、高响应速度等特性，成为实现高精度力矩控制的理想选择。然而，要充分发挥DD马达的性能，需要采用有效的控制策略。
DD马达（直接驱动马达）作为一种高精度驱动设备，在工业自动化、半导体制造、激光加工等领域得到了广泛应用。然而，齿槽效应是影响DD马达性能的关键因素之一，它会导致转矩波动、振动和噪声，降低系统的定位精度和稳定性。因此，研究DD马达的低齿槽效应设计方法具有重要的理论和实际意义。
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